| 电子行业用超纯水设备 一、电子行业高纯水除盐装置应用范围概述：1、电解电容器生产铝箔及工作件的清洗电子管生产 2、电子管阴极涂敷碳酸盐配液显像管和阴极射线管生产 3、配料用纯水黑白显像管荧光屏生产 玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水液晶显示器的生产 屏面需用纯水清洗和用纯水配液晶体管生产中主要用于清洗硅片等。 二、电子行业超纯水工艺流程 ◆典型工艺流程 预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象 （≥18MΩ.CM）◆传统工艺流程 预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）◆最新工艺流程 1、预处理→一级反渗透→加药机（PH调节）→中间水箱→第二级反渗透（正电荷反渗膜）→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥17MΩ.CM） 2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水终端（≥15MΩ.CM） 三、处理后水质标准 经过高纯水除盐设备后，出水水质可以满足显像管、液晶显示器、 集成电路用水标准。 国家电子级纯水标准、 美国SEMI标准。 四、电子行业高纯水设备特点 为满足用户生产工艺用水需求，达到符合标准的水质，尽可能地减少各级的污染，延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量。在工艺设计上，源水（市政自来水），经多介质过滤器，活性碳过滤器，钠型阳离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床（EDI电除盐系统）装置等。 系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人职守，由PLC控制系统完成包括阻垢剂计量泵、高压泵、电动慢开门的顺序启动和停止；停运时反渗透装置的自动低压冲洗；运行过程中低压压力开关与系统的连锁运行；各转动设备的运行监测和报警等。海扬公司生产的电子行业高纯水除盐装置、超纯水处理设备、反渗透脱盐机组可满足电子行业不同客户对生产工艺用水的需求。 |
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